洁净室由于洁净度的要求，对通风量、送风量需求较大，换气次数可达10-600次/小时，因此能量消耗是普通办公室的10~30倍。需要对洁净室进行节能减排，洁净室节能的方法既可以是一般的（适用于各种房屋和建筑物）也可以使特定的，一般有以下方法：

1、最大限度地减少热增益/损耗，提供建筑隔热；

2、在安全的基础上，空气循环使用尽可能少的室外空气；

3、工厂选址在冬/夏季不需要高功耗的气候带上；

4、使用高效的风机，空气处理机组和冷水机组；

5、使用带备用量的设备，如暖通空调机组、过滤器等（更大的额定功率消耗更少的能量）；

6、采用本地内置方式去除工艺设备的余热负荷。

考虑洁净室特征的特别方法，包括：

1、尽可能减少洁净室的规模；

2、避免超规格的清洁度等级；

3、使用压降低的HEPA过滤器；

4、封堵所有的漏口；

5、当工艺要求的较高等级的清洁度处于一个受控区域内时，采用就地防护措施；

6、最大程度的减少人员的数量，以及使用无人技术（封闭系统、RABS、隔离器）；

7、注意操作、防护服、卫生、培训等问题；

8、在“静态”时减少气流量；

9、避免超规格的换气次数和自净时间；

10、在测试和运行期间确定实际所需的气流量，并根据这些内容确定换气次数。